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微分干涉显微镜浅介二次元影像测量仪的特征

影像仪的真圆度是指圆柱体、圆锥体或球体呈真圆程度的一种公差表示法,任一与轴线正交之剖面,微分干涉显微镜影像仪真圆度的周界均位于两同心圆之间,此两同心圆的径向距离,即为真圆度公差。其数值越大越表示影像仪圆的变形越大,数值越小表示影像仪圆的变形越小越接近真圆。
影像测量仪的真直度是指被影像测量仪测定各点与基准直线间距离之最大差的位移偏差量。微分干涉显微镜影像测量仪的真直度数值越大越表示直线的变形越大,微分干涉显微镜相反影像测量仪的真直度数值越小表示直线的变形越小越接近真直线。


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影像仪的真圆度是指圆柱体、圆锥体或球体呈真圆程度的一种公差表示法,任一与轴线正交之剖面,微分干涉显微镜影像仪真圆度的周界均位于两同心圆之间,此两同心圆的径向距离,即为真圆度公差。其数值越大越表示影像仪圆的变形越大,数值越小表示影像仪圆的变形越小越接近真圆。
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